Vorausschauende Wartung für Halbleiterwerke
Wie halten wir die Versorgungseinrichtungen eines Halbleiterwerks am Laufen, ohne die Produktion zu stören?
DHMSCare überwacht die Versorgungseinrichtungen, auf die sich ein Halbleiterwerk stützt: Pumpen für Prozesskühlwasser, Roots-Trockenvakuumpumpen und Wafer-Vakuumpumpen, Abluft- und Wäscherventilatoren, Kältemaschinen und Kompressoren für trockene Druckluft und Stickstoff sowie Pumpen für entionisiertes Wasser.
Drahtlose Vibrations- und Temperatursensoren sitzen auf Motoren und Lagergehäusen, vergleichen jede Anlage mit ihrer eigenen Basislinie und melden frühen Verschleiß, bevor ein Ausfall der Versorgungssysteme das Reinraumklima beeinträchtigt.
Branchen-Herausforderungen
Ventilatoren, Pumpen, Kältemaschinen und Kompressoren laufen kontinuierlich. Fällt eines aus, sind Reinraumklima und Produktionsplan betroffen.
Lagerschäden an Pumpen und Motoren entstehen leise. Wenn sie hörbar oder heiß sind, steht die Anlage kurz vor dem Ausfall.
Ein Ausfall der Versorgungssysteme kann eine Produktionslinie stilllegen. Die Wiederaufnahme dauert in einem Halbleiterwerk lange und stört die Umgebung.
Halbleiterwerke laufen nahezu durchgehend. Inspektion und Reparatur müssen um die Produktion herum geplant werden, daher braucht das Team frühzeitige, konkrete Signale.
Quantifizierbarer Nutzen
Überwachungslösung
Der Überwachungsschwerpunkt liegt auf den Lagern und Motoren der Versorgungseinrichtungen: Pumpen für Prozesskühlwasser, Roots-Trockenvakuumpumpen und Wafer-Vakuumpumpen, Abluft- und Wäscherventilatoren, Kältemaschinen und Kompressoren für CDA und N2 sowie Pumpen für entionisiertes Wasser.
Plattform
DHMSCare erkennt mit KI frühe Fehleranzeichen wie Getriebeverschleiß und Lageranomalien, bewertet den Anlagenzustand und gibt Wartungsempfehlungen.
Empfohlene Messpunkte und Plan
Was eine typische Produktionslinie braucht — der ganze Plan, bevor wir sprechen.
| Anlage | Empfohlene Sensoren | Messpunkte (Lagersitze) |
|---|---|---|
| Pumpe für Prozesskühlwasser | 2 | Lager an Motor-Antriebsseite und Nichtantriebsseite |
| Roots-Trockenvakuumpumpe | 3 | Lagergehäuse von Motor und Pumpe |
| Abluftventilator | 2 | Motorlagersitze |
| Kältemaschine / Kompressor für CDA und N2 | 3 | Lageraufnahmen von Motor und Kompressor |
| Wäscherventilator | 2 | Motorlagersitze |
| Pumpe für entionisiertes Wasser | 2 | Lager an Motor-Antriebsseite und Nichtantriebsseite |
| Wafer-Vakuumpumpe | 2 | Lagergehäuse von Motor und Pumpe |
Die tatsächliche Anzahl wird vor Ort bestätigt
AI Care
Der erste Tarif mit KI-Fehlerdiagnose — die KI, die Getriebeverschleiß und Lageranomalien hinter diesen Ergebnissen erkennt.
AI Care Plus wählen für unbegrenzte automatische Diagnosen, Restlebensdauer-Prognosen mit Mina Ultra und 24 Monate Datenhaltung.
Kleinere Teams kann mit Care starten: KI-Zustandsüberwachung und Tagesberichte mit 10 Konten; bei Bedarf an KI-Fehlerdiagnose auf AI Care wechseln.
Mit einer Linie starten
Der kleinste sinnvolle Start — dann Linie für Linie wachsen oder werksweit ausrollen.
Überwachen Sie die Maschinen, deren Stillstand Sie sich am wenigsten leisten können.
Sie erfahren Tage im Voraus von Fehlern.
Alle Linien, alle Standorte, eine Übersicht.
Auf die Projektanforderungen zugeschnitten.
Läuft auf Ihren eigenen Servern oder in Ihrer Private Cloud.
Als Projekt beauftragt und geliefert.
Häufige Fragen
Wir sind ein kleines oder mittleres Unternehmen. Passt das für uns?
Ja. Starten Sie mit einer Linie und einem Gateway, Abo pro Sensor und Jahr, standardmäßig mit AI Care; Care, wenn Sie nur Zustandsüberwachung brauchen.
Wie lange dauert ein Ein-Linien-Pilot?
Die Installation folgt den sieben Schritten unserer Schnellinstallationsanleitung: Anlage anlegen, Gateway montieren, Sensoren anbringen und Messpunkte binden. Die Pilotdauer vereinbaren wir je nach Liniengröße.
Wir haben keinen Schwingungsingenieur. Geht es trotzdem?
Ja. Die KI erkennt frühe Fehleranzeichen, bewertet den Anlagenzustand und gibt Wartungsempfehlungen; Mina sagt Ihnen, welche Maschine zuerst zu behandeln ist und warum.
Kommen die Sensoren mit dem Prozessmedium in Kontakt?
Nein. Drahtlose Vibrations- und Temperatursensoren werden außen an Motoren und Lagergehäusen befestigt und senden ihre Messwerte über das Gerät DG310. Sie berühren keine Prozessmedien.
Was braucht ein Halbleiterwerk, um mit der Überwachung zu beginnen?
Ein DG310-Gerät und Sensoren an den ersten Versorgungsanlagen – Pumpen oder Ventilatoren. Die Installation folgt der Schnellinstallationsanleitung: Anlage anlegen, DG310 montieren, Sensoren anbringen und Messpunkte zuordnen.
Nennen Sie uns die Linie und ihre kritischen Anlagen; wir legen Sensoren und Plan gemeinsam mit Ihnen fest.