Ein IC-Packaging- und Testunternehmen; DHMSCare überwacht dessen Pumpen und Motoren.

Mit Sitz in Nantong (Jiangsu) bietet Tongfu Microelectronics Packaging- und Testdienste für integrierte Schaltungen.
Packaging- und Testreinräume sind auf zuverlässige Versorgungstechnik angewiesen; ein Pumpenausfall beeinträchtigt die Produktionsumgebung.
Früher Verschleiß einer Magnetkupplungspumpe ist bei Inspektionsrundgängen schwer zu erkennen.


Jede Magnetkupplungspumpe (750 W, 3450 U/min) erhält zwei Messpunkte – Motorausgangsende und Pumpenausgangsende – und jede Roots-Vakuumpumpe (7,5 kW, 2920 U/min) drei – Motorantriebsende, Pumpeneingangsende und Pumpenausgangsende. Vibration und Temperatur werden gemeinsam erfasst.
Während der Überwachung stieg die Oberflächentemperatur einer Magnetkupplungspumpe von durchschnittlich 50 °C auf 57 °C, und die Schwingstärke nahm gegenüber der Basislinie um 40 % zu. Beide Werte stiegen weiter an und lösten eine Trendwarnung aus.
Der Kunde setzte die Pumpe auf die Prioritätenliste und wartete sie während der Revision. Als Ursache wurden Ablagerungen von Prozessnebenprodukten bestätigt, die die Rotorwucht zerstörten und die Reibung erhöhten.
Bei den Roots-Vakuumpumpen blieben Vibration und Temperatur an allen Messpunkten im Normalbereich. Es gab keine anormalen Alarme, und die Linie lief kontinuierlich weiter.
Die Schwingungsdaten von Pumpen, Motoren und weiteren Antrieben werden in festem Takt erfasst und auf der Plattform mit der eigenen Basislinie jedes Geräts verglichen; eine Warnung geht raus, wenn eine Veränderung bestätigt ist.
Vibrationstrend und Diagnoseergebnis jedes Geräts werden auf der Plattform beim Gerät abgelegt; Übergaben in der Wartung kommen ohne Papier aus.
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