반도체 공장 예지보전
생산에 지장을 주지 않으면서 공장의 유틸리티 설비를 안정적으로 가동하려면 어떻게 해야 할까요?
DHMSCare는 반도체 팹이나 조립·테스트 공장이 의존하는 유틸리티 설비를 모니터링합니다.
공정 냉각수 펌프, 루츠 건식 진공 펌프, 웨이퍼 진공 펌프, 배기 및 스크러버 팬, 압축 건조 공기와 질소용 칠러와 압축기, 순수 펌프가 대상입니다.
무선 진동·온도 센서를 모터와 베어링 하우징에 설치하고, 각 설비를 자체 기준선과 비교하여 유틸리티 고장이 클린룸 환경을 흔들기 전에 초기 마모를 표시합니다.
산업 과제
팬, 펌프, 칠러, 압축기는 연속으로 가동됩니다. 하나만 고장 나도 클린룸 환경과 생산 일정이 영향을 받습니다.
펌프와 모터의 베어링 마모는 조용히 진행됩니다. 소리나 열로 느껴질 때는 설비가 고장 직전입니다.
유틸리티 설비의 정지는 생산 라인을 멈출 수 있습니다. 반도체 공장의 복구에는 시간이 걸리고 환경도 흔들립니다.
반도체 공장은 거의 연속해서 가동됩니다. 점검과 수리는 생산 일정에 맞춰 계획해야 하므로 팀에는 이른 시점의 구체적인 신호가 필요합니다.
정량적 가치
모니터링 솔루션
반도체 공장 유틸리티 설비의 베어링과 모터에 모니터링을 집중합니다.
공정 냉각수 펌프, 루츠 건식 진공 펌프, 웨이퍼 진공 펌프, 배기 및 스크러버 팬, 압축 건조 공기와 질소용 칠러와 압축기, 순수 펌프가 대상입니다.
플랫폼
DHMSCare는 AI로 기어 마모, 베어링 이상 등 초기 고장 징후를 식별하고 설비 상태를 평가하며 유지보수 권고를 제공합니다.
권장 측정점과 플랜
일반적인 생산 라인에 필요한 것을 상담 전에 전체 플랜으로 확인할 수 있습니다.
| 설비 | 권장 센서 수 | 측정점 위치(베어링 시트) |
|---|---|---|
| 공정 냉각수 펌프 | 2 | 모터 구동측 및 비구동측 베어링 |
| 루츠 건식 진공 펌프 | 3 | 모터와 펌프 베어링 하우징 |
| 배기 팬 | 2 | 모터 베어링 시트 |
| 칠러 / 압축 건조 공기·질소 압축기 | 3 | 모터와 압축기 베어링 시트 |
| 스크러버 팬 | 2 | 모터 베어링 시트 |
| 순수 펌프 | 2 | 모터 구동측 및 비구동측 베어링 |
| 웨이퍼 진공 펌프 | 2 | 모터와 펌프 베어링 하우징 |
실제 수량은 현장에서 확정됩니다
AI Care
AI 고장 진단이 포함된 첫 플랜. 이 결과의 배경인 기어 마모와 베어링 이상을 찾아내는 AI입니다.
더 필요하면 AI Care Plus: 자동 진단 무제한, Mina Ultra 잔여 수명 예측, 24개월 데이터 보관.
중소기업 는 Care로 시작 가능: AI 상태 모니터링과 일일 보고서, 계정 10개. AI 고장 진단이 필요해지면 AI Care로.
자주 묻는 질문
저희는 중소기업입니다. 적합한가요?
네. 라인 하나와 게이트웨이 1대로 시작할 수 있고, 센서 단위·연 단위로 구독합니다. 기본은 AI Care이며, 상태 모니터링만 필요하면 Care를 선택하세요.
라인 하나 파일럿은 얼마나 걸리나요?
설치는 퀵 설치 가이드의 7단계를 따릅니다. 설비 생성, 게이트웨이 설치, 센서 부착, 측정점 바인딩 순으로 진행합니다. 파일럿 기간은 라인 규모에 맞춰 함께 협의합니다.
진동 전담 엔지니어가 없습니다. 그래도 쓸 수 있나요?
네. AI가 초기 고장 징후를 식별하고 설비 상태를 평가하며 유지보수 권고를 제공하고, Mina가 어떤 설비를 먼저 처리해야 하는지와 이유를 알려줍니다.
센서가 공정 유체에 닿습니까?
아니요. 무선 진동·온도 센서는 모터와 베어링 하우징 바깥에 설치되며 DG310을 통해 측정값을 전송합니다. 공정 유체에는 닿지 않습니다.
반도체 팹이나 조립·테스트 공장이 모니터링을 시작하려면 무엇이 필요합니까?
DG310 한 대와 첫 유틸리티 설비(펌프 또는 팬)에 설치할 센서가 필요합니다. 설치는 빠른 설치 안내서를 따릅니다. 설비를 등록하고 DG310을 설치한 뒤 센서를 부착하고 측정점을 연결합니다.
라인과 핵심 설비를 알려 주세요. 센서 수와 플랜을 함께 정합니다.