半導体の前工程工場・組立テスト工場の予知保全
生産を妨げずに、工場のユーティリティ設備を安定して稼働させるには？
DHMSCare は、半導体の前工程工場や組立・テスト工場が依存するユーティリティ設備を監視します。
プロセス冷却水ポンプ、ルーツドライ真空ポンプ、ウェーハ真空ポンプ、排気ファンとスクラバーファン、圧縮乾燥空気と窒素用のチラーとコンプレッサー、純水ポンプが対象です。
ワイヤレス振動・温度センサーをモーターと軸受ハウジングに取り付け、各設備を自身の基準値と比較し、ユーティリティの故障がクリーンルーム環境を乱す前に早期の摩耗を捉えます。
業界の課題
ファン、ポンプ、チラー、コンプレッサーは連続運転しています。1 台でも故障すると、クリーンルーム環境と生産計画に影響します。
ポンプとモーターの軸受摩耗は静かに進行します。音や熱として感じられる頃には、設備は故障寸前です。
ユーティリティ設備の停止は生産ラインを止めかねません。半導体工場の復旧には時間がかかり、環境にも影響します。
半導体工場はほぼ連続稼働しています。点検と修理は生産に合わせて計画する必要があるため、チームには早く具体的なシグナルが求められます。
定量化できる価値
監視ソリューション
半導体工場のユーティリティ設備の軸受とモーターを重点的に監視します。
プロセス冷却水ポンプ、ルーツドライ真空ポンプ、ウェーハ真空ポンプ、排気ファンとスクラバーファン、圧縮乾燥空気と窒素用のチラーとコンプレッサー、純水ポンプが対象です。
プラットフォーム
DHMSCare は AI で歯車摩耗や軸受異常などの初期故障兆候を識別し、設備状態を評価してメンテナンス推奨を提示します。
推奨測定点とプラン
一般的な生産ラインに必要なものを、商談前にプラン全体が見える形で示します。
| 設備 | 推奨センサー数 | 測点位置（軸受座） |
|---|---|---|
| プロセス冷却水ポンプ | 2 | モーターの駆動側・非駆動側軸受 |
| ルーツドライ真空ポンプ | 3 | モーターとポンプの軸受ハウジング |
| 排気ファン | 2 | モーター軸受座 |
| チラー / 圧縮乾燥空気・窒素コンプレッサー | 3 | モーターとコンプレッサーの軸受座 |
| スクラバーファン | 2 | モーター軸受座 |
| 純水ポンプ | 2 | モーターの駆動側・非駆動側軸受 |
| ウェーハ真空ポンプ | 2 | モーターとポンプの軸受ハウジング |
実際の数量は現場にて確定します
AI Care
AI 故障診断付きの最初のプラン。これらの成果の裏にある歯車摩耗と軸受異常を見つける AI です。
さらに必要な場合は AI Care Plus： 自動診断は無制限、Mina Ultra による残寿命予測、24 か月のデータ保持。
中小企業 は Care から開始できます：AI 状態監視と日報、10 アカウント。AI 故障診断が必要になったら AI Care へ。
1 ラインから開始
最小の妥当な規模から始め、ラインごとに拡張、または全工場へ展開。
止めるわけにいかない機械を見守ります。
すべてのライン、すべての拠点を一つのダッシュボードで。
プロジェクト要件に合わせて調整。
お客様自身のサーバーまたはプライベートクラウドで稼働。
プロジェクトとして契約・納品。
よくある質問
当社は中小企業です。合いますか？
はい。1 ライン・ゲートウェイ 1 台から始められ、センサー単位・年単位のサブスクリプションです。標準は AI Care、状態監視だけなら Care を選べます。
1 ラインのパイロットはどのくらいかかりますか？
設置はクイックガイドの 7 ステップで行います：設備作成、ゲートウェイ設置、センサー貼付、測点バインド。パイロット期間はライン規模に応じて合意します。
振動専任エンジニアがいません。利用できますか？
はい。AI が初期故障兆候を識別し、設備状態を評価してメンテナンス推奨を提示。Mina がどの設備を先に処理すべきかと理由を教えます。
センサーはプロセス流体に触れますか？
いいえ。ワイヤレス振動・温度センサーはモーターと軸受ハウジングの外側に取り付け、DG310 を介して測定値を送信します。プロセス流体には触れません。
半導体の前工程工場や組立・テスト工場が監視を始めるには、何が必要ですか？
DG310 1 台と、最初の対象設備（ポンプまたはファン）に取り付けるセンサーです。設置はクイック設置ガイドに従います。設備を登録し、DG310 を設置し、センサーを取り付けて測点を紐付けます。
ラインと重要設備を教えてください。センサー数とプランを一緒に決定します。